真空镀膜机检漏，当镀膜机内部真空度下降到一定程度，如低于0.5mbar时，对疑似泄漏处喷氦气，或检查标准维护时移动的部件。这时需要有人观察检漏仪漏率指示值的变化。当泄漏率上升或泄漏率值急剧变化时，及时指出泄漏点的位置，并做好标记。

1)、将氦质谱检漏仪BW-930B连接到泵单元前的检漏口。
2)、启动检漏仪，检漏仪开始抽取密闭腔内的气体，同时启动涂装设备泵组。
3）、当镀膜机内部真空度下降到一定程度，如低于0.5mbar时，对疑似泄漏处喷氦气，或在标准维护时检查运动部件。这有时需要有人观察检漏仪漏率指示值的变化。当泄漏率升高或泄漏率值急剧变化时，及时指出泄漏点的位置并作标记。
4）所有可疑点检测完毕后，关闭检漏仪，停止涂布机泵组，开启涂布机，对检测到的泄漏点进行处理（如更换密封圈、清洗等） .处理完成后，按照前面的步骤再次检查。直到所有泄漏被清除，泄漏检测过程才算完成。

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